無塵車間工程潔凈室亦稱為無塵室或清凈室,它是污染控制的基礎(chǔ),沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
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在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、更佳化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程式以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
無塵車間一般包括無塵區(qū)、準(zhǔn)無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分,無塵車間工程的平面安置能夠有以下幾種方法:
外廊盤繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。
內(nèi)廊式:無塵車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的無塵度等級一般都較高,乃至和無塵車間同級。
兩頭式:無塵區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用房。
中心式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠無塵區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。