萬級無塵車間亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ),沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
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在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
千級無塵室與萬級無塵室的區(qū)別主要是潔凈度不同。潔凈室不同,換氣次數(shù)就不同,換氣次數(shù)不同,灰塵顆粒容量不一樣,過濾塵埃粒子就不同,風(fēng)量、百設(shè)備、造價(jià)就不同。千級無塵室級別比萬級高,因此造價(jià)也高。
千級無塵車間的濕度要求是55±5%,千級無塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬個(gè)。
萬級是指:一立方英尺度內(nèi)不超過10000顆粒徑為0.5微米的塵埃。大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè)(這個(gè)是1立方米),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè)
萬級無塵室知對溫度、濕度無特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。