萬級無塵車間亦稱為無塵室或清凈室，它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。

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萬級無塵車間的安裝需要遵循一定的步驟和規(guī)范，主要包括以下幾個步驟：
準備工作：在設(shè)計施工前，需要了解清楚車間的布局、特點和要求，做好充分的準備。
基礎(chǔ)施工：進行地面、墻面和屋頂?shù)幕A(chǔ)施工，包括地面找平、地坪施工和防潮處理等。
板材安裝：安裝萬級無塵車間的板材，需要保證板材的平整度和密封性，主要包括板材尺寸測量和加工，以及板材安裝和密封處理等。
管道安裝：在安裝管道前，需要進行管道設(shè)計和材料采購，然后進行管道安裝和泄漏測試，以確保管道的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
設(shè)備安裝：根據(jù)設(shè)計圖紙安裝設(shè)備，確保設(shè)備符合工藝流程要求，以及設(shè)備性能和穩(wěn)定性測試。
調(diào)試運行：完成安裝后進行調(diào)試運行，檢查設(shè)備的運行情況，確保達到設(shè)計要求。
在安裝過程中，需要注意保證車間的清潔和密封性，遵守施工規(guī)范和要求，確保安裝質(zhì)量和安全。