萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間主要之作用在于控制商品(如硅芯片等)所觸摸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使商品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制作,此空間咱們稱之為萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間。
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按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是依據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于區(qū)分規(guī)范的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)則,也即是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)塵埃,而是控制在一個(gè)十分微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)規(guī)范中契合塵埃規(guī)范的顆粒相關(guān)于咱們多見(jiàn)的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微,可是關(guān)于光學(xué)結(jié)構(gòu)而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的塵埃都會(huì)發(fā)生十分大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)商品的出產(chǎn)上,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間無(wú)塵是必定的請(qǐng)求。
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵規(guī)范的A級(jí)。
目前萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間應(yīng)用在芯片級(jí)出產(chǎn)加工的無(wú)塵規(guī)范關(guān)于塵埃的請(qǐng)求高于A級(jí),這么的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片出產(chǎn)上。
5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也即是業(yè)內(nèi)俗稱的1K等級(jí)。